北京科创鼎新真空技术有限公司

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涡旋真空泵的应用领域

涡旋泵已被广泛应用于半导体行业:薄膜制造设备、半导体器件封装设备。科学仪器行业:同步辐射光束线机、电子显微镜、极光试验设备、分析测试仪器。机械设备行业:材料制备设备、真空检测、材料提纯设备、超高真空排气设备。医院设备行业:透析机、生物制备与药品制备。包装行业:食品、药品、生物制品包装设备等领域。涡旋泵作为分子泵和小型低温泵的前级泵是获得无油真空系统很好的配置。




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视频作者:北京科创鼎新真空技术有限公司






涡旋真空泵

涡旋真空泵(也称涡流泵)归属于叶片式泵。涡旋真空泵根据转动的叶轮叶片热对流道内液体开展三维流动性的角动量互换而运输液体。旋涡泵叶轮具备开式和闭试二种,闭试叶轮叶片凹形槽内设立正中间挡板。开式叶轮无正中间挡板。


闭试涡旋真空泵构造

闭试涡旋真空泵构造关键由叶轮、泵壳、隔舌构成。图中流道两边(或一端)与進口或出口互通,称之为开式流道。叶轮上开了均衡孔,用以均衡轴向力。流液由通道进到,在叶轮推动下做竖向涡旋健身运动得到动能,由出口排出来,挨近出口侧叶片间液体随叶轮返回泵通道。






涡旋真空泵

真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备,通俗来讲,真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置,按真空泵的工作原理,真空泵基本上可以分为两种类型,即气体捕集泵和气体传输泵,其广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业,而真空泵由于其强大的力度,使得在使用时需要固定的非常牢固,但是现有的装置进行只是进行固定,并且固定的不是很牢固,而且没有一个缓冲的功能,使得装置运行时产生的振动会直接传导到底座上,使得螺栓松动,导致装置脱落,同时现有的装置在进气口上未设置有过滤装置,使得灰尘的杂质进入到装置内部,由于内部结构运行速度较快,使得灰尘一但进入到内部,将会对内部结构产生非常大的磨损,为此提出一种涡旋式真空泵。